제10회 ‘KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지’

목적

우리 학회는 우리나라 기계산업 발전을 위하여 학계와 산업계의 협력 강화를 위한 다양한 사업을 진행하고 있습니다. ‘KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지’는 이의 일환으로서 우리 학회와 SEMES가 협력하여 미래기술사회의 혁신을 이끄는 주최자로의 역할을 제시하고 또한 기업에도 새로운 솔루션을 찾아갈 수 있는 기회를 제공할 목적으로 합니다.

공모 주제

1. 생산 설비 기술 (10)
- 약액 이송 시스템 내 유동 대전 기술
- 약액 내 초미세 Particle Filter 향상 기술
- Wafer 세정기 벽면 비산 방지 기술
- Warped Wafer(~1mm 이상) 흡착 기술
- Air Floating Stage Warpage 저감 기술
- EMI/EMC 진단 및 개선 기술
- Focus Ring 압착 정밀도 고도화 기술
- Tailored Waveform 제어 및 Arcing Detector 기술
- Micro Bubble 감지 및 제거 기술
- Manifold 유량 균등 분배 기술
2. CAE 기술 (11)
- 열유동(유체 활용 극저온 냉각 포함) 해석
- Warpage Wafer 진공 흡착-열변형 구석 해석
- Chamber 내 온도, 습도, Acoustic에 의한 미세 진동 및 변형 해석
- 저진공 환경 유체(다종 공정 Gas) 해석
- Arcing 및 정전기 예측 해석
- 다상 유동(회전체 위의 액막 두께 예측 및 액적 Breakup/Rebound) 해석
- Deep pattern 내의 유체 치환 및 건조 해석 기술
- 유체내 Miro-Bubble 해석 밑 나노/멀티 스케일 Particle 거동 해석
- PR Pattern Defects (eg. SLO: Single-Line-Open) 예측 해석
- Thin die debonding 해석
- 초고압 열유동 해석
3. 계측 및 제어 기술 (15)
- 로봇/제어/진동 기술
- Vision 기술
- 광학 기술: 나노광학을 이용한 Align 및 Overlay관련 고해상도 기술
- 조정, 센싱, 보정 및 진단 기술: 진동/적외선 센싱을 통한 고장 진단
- 파티클/오염도 분석 및 측정 기술
- 물성치(압력/온도/Gas유량/액체유량) 측정 기술
- 진공 플라즈마(밀도 분포 등); 플라즈마 공정 부산물 실시간 모니터링
- Radical 밀도 측정; Harmonics Monitoring
- Wafer 센서 기술 (온도, 압력, Level, 정전기, Stress 습도, 전기장, 및 정전기 등)
- 고압 밀폐 용기 내 Wafer 상태(온도, Level, 유동) 무선 측정 기술
- 배관 내부의 버블양 계측, 비접촉식 온도 측정 기술
- 고속 실시간 제어를 위한 차세대 네트워킹 기술
- 정전기 측정 기술
- Die-to-Die Gap 측정 기술
- 로봇 Auto Teaching
4. 열/유체/소재/요소 기술 (12)
- 고온/고압 환경 내에서 사용 가능한 수지, 2차원(e.g. 그래핀) 소재
- 플라즈마 내환경 세라믹 소재 기술
- 내산 및 극저온 환경 저항성 고분자(수지) 소재
- 반도체 저분진, 고온용 단열 소재, 제전용 불소수지 소재
- 세라믹(SiC, AlN) 인쇄히터 제작용 (열선, 절연층, 전극용) Paste 재료
- 용매 내 무기, 금속 파티클 제거 기술
- Nano Bubble 생성 원리와 저감/제거 제어 기술
- ALE New Chemistry(막질별, Modi. Gas/Precursor)
- HARC Etch New Gas(Oxide/Si/적층 Layer)
- 고온↔저온 switching(mixing) 안정화 기술
- 내 플라즈마 코팅 결정성 제어
- 극저온 환경 ESC 소재 평가 (세라믹, Base Plate, Bonder)
5. 공정 기술 (10)
- Coating 공정 기술: 공정 Gas 기반 최적화 코팅
- Wet Chemical 세정 및 건조
- 정전기 제어 기능수
- 고점도(50~100cp) 잉크젯 공정
- Wet Coating 및 Etching 공정 기술: Center-Edge 산포 개선
- ALE Self-limit Condition 공정
- HARC(High Aspect Ratio Contact) New Chemistry 적용 공정
- HARC Etching 공정
- UV 파장을 이용한 유기 물질 제거 기술
- 기타 공정 기술: 고청정 부품 세정
6. AI 기술: AI 기반 기술 (1)
7. 기타 기술: 자유 주제 (1)

경진대회 세부 사항

* 복수 대학/단체 연합팀원 구성 가능 또는 구성 형식에 제한 없음.

응모 방법

아래의 서류를 기한 이내 온라인(ksoic.ksme.or.kr) 제출
: A4 4매 이내 작성

* 제출 일정은 주요일정 참조

주요 일정

서류심사 제안서 제출 기간	2025년 3월 21일(금)~5월 30일(금)
서류심사 합격자 통보	2025년 7월 2일(수)
발표심사 제안서 제출 마감	2025년 8월 6일(수)
세메스 FAB Tour	2025년 8월 13일(수) (일정 변경될 수 있음)
발표심사	2025년 8월 28일(목)~8월 29일(금)
수상자 통보	2025년 9월 2일(화)
수상작 발표회(구두/포스터)	2025년 12월 11일(목)
시상식 및 만찬	2025년 12월 11일(목)
* 상기 일정은 부득이 변경될 수 있음.

시상

상 종류	수상자수	상 금	전문가 그룹	젊은 공학자 그룹
대상	1팀	1,000만 원	1팀
금상	2팀	500만 원	1팀	1팀
은상	2팀	300만 원	1팀	1팀
동상	6팀	200만 원	3팀	3팀
장려상	13팀 (각 50만 원)
SEMES와 산학연구과제 대상 선정	대상 1팀 산학과제 기회 부여 (각 8,000만 원 수준/1년) ※ 금상, 은상, 동상, 장려상 중 1팀의 산학과제 기회는 SEMES에서 내부 검토 후 결정 (상황에 따라서 선정하지 않을 수 있음) ※ SEMES 산학 과제 : 기본 6개월~12개월에 연 8,000만 원 수준이며, 과제 성격에 따라 개별 협의 가능.
부문 장려금	부문별 참여 편수에 따라 해당 부문에 아래와 같이 지급함. 10~19편 : 50만 원, 20~29편 : 100만 원, 30편 이상 : 150만 원
특 전	세메스 입사 지원 시 수상자 전원에게 가산점 부여 세메스 연구개발과 관련된 아이디어 제안자와 산학과제 연계 진행 가능
※ 제출된 아이디어 제안서의 소유권은 참가자에게 있으며, 향후 아이디어 제안서를 기반으로 한 특허 출원 시 SEMES와 공동 출원도 가능 ※ 전문가 및 젊은 공학자 그룹에서 수상팀 발표 자료는 SEMES에서 요청 시에 SEMES에 제공해야 함 ※ 젊은 공학자 그룹 수상팀은 발표 자료 제출 시 수상팀의 지도교수(또는 연구 책임자) 정보를 포함하여 SEMES측에 제공해야 함

시상식 장소
시상식 장소: 12월 11일 대한기계학회 2025년 학술대회(장소: 강원랜드 컨벤션센터)에서 시행

공지사항

제10회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지 참가 신청 공모

대한기계학회가 국내 최대 반도체/디스플레이 핵심 장비 업체인 SEMES와 협력하여 개최하고 있는 ‘KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지’에 회원 여러분의 적극적인 참여를 바랍니다.

2016년 제1회 대회를 시작으로 금년에 10회째를 맞은 'KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지'는 미래기술사회의 혁신을 선도할 창의적이고 실용적인 아이디어를 도출하면서 산학연구 연계를 도모하자는 취지에서 기획되었으며, 회원 여러분의 다양한 참여를 통해 성공적으로 이어져 오고 있습니다. 상세한 내용은 '제10회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지' 공모 홈페이지의 내용을 참고하시기 바라며, 금년에도 회원 여러분의 많은 아이디어와 참여를 기대합니다.