| 그룹 구분 | 수상 팀원 | 수상 제목 | |
|---|---|---|---|
| 대상 (1000만원) |
김산하*·신소민·엄윤식,(KAIST) | 초미세 오염물 세정을 위한 나노다공성 마이크로패턴 폴리우레탄 패드 | |
| 금상 (500만원) |
전문가그룹 | 곽노균*·박수동·유연욱·박진일·강민상(한양대) | Rock-on-a-chip analogy기반 미세 패턴사이 세정액 특성 평가 기술 개발 |
| 젊은공학자그룹 | 이정우*·박진규·김조현·김태완(서강대) | 고해상도 CFD 해석 기반 웨이퍼 액막 거동 예측의 신뢰성 향상 및 하부 분사 세정에서 약액 손실 최소화를 위한 노즐 직경 최적화 | |
| 은상 (300만원) |
전문가그룹 | 고승환*·정주호·방준혁(서울대) | 감응 능력의 동적 스위칭을 통한 다중 정보의 센서 내 적응형 인지 시스템 개발 |
| 젊은공학자그룹 | 김예원*·김홍성·김우빈(연세대) | 적층형 메모리 반도체 단별 고분해능 영상 및 간격 정보 동시 복원 기술 개발 | |
| 동상 (200만원) |
전문가그룹 | 이정철*·김태영·고주희(KAIST) | 3차원 낸드 플래시 메모리 비파괴 검사를 위한 근적외선 간섭 나노스캐너 |
| 소홍윤*·김종원·김수헌(한양대) | 공정 중 웨이퍼의 열균일성 확보를 위한 DNN 기반 실시간 열결함 추적 시스템 | ||
| 이정철*·고주희(KAIST) | 가열 유동채널 공진기 기반 저유량 고점도 유체 유량 비접촉 측정 | ||
| 젊은공학자그룹 | 김준형*·윤정환(POSTECH) | 형상기억고분자 기반 Dry Adhesive Control을 이용한 HBM 향 다이 피커의 개발 | |
| 김철민*·남한구(KAIST) | 목재 상 레이저-유도 그래핀 가스 센서 제작 기술 개발 | ||
| 손창우*·강민구·권용준(성균관대) | 화학종 첨가를 통한 고감도 진공 누설 감지 Self Plasma Optical Emission Spectroscopy 기술 |