| 그룹 구분 | 수상 팀원 | 수상 제목 | |
|---|---|---|---|
| 대상 (1000만원) |
김산하*·신소민·엄윤식,(KAIST) | 초미세 오염물 세정을 위한 나노다공성 마이크로패턴 폴리우레탄 패드 | |
| 금상 (500만원) |
전문가그룹 | 곽노균*·박수동·유연욱·박진일·강민상(한양대) | Rock-on-a-chip analogy기반 미세 패턴사이 세정액 특성 평가 기술 개발 |
| 젊은공학자그룹 | 이정우*·박진규·김조현·김태완(서강대) | 고해상도 CFD 해석 기반 웨이퍼 액막 거동 예측의 신뢰성 향상 및 하부 분사 세정에서 약액 손실 최소화를 위한 노즐 직경 최적화 | |
| 은상 (300만원) |
전문가그룹 | 고승환*·정주호·방준혁(서울대) | 감응 능력의 동적 스위칭을 통한 다중 정보의 센서 내 적응형 인지 시스템 개발 |
| 젊은공학자그룹 | 김예원*·김홍성·김우빈(연세대) | 적층형 메모리 반도체 단별 고분해능 영상 및 간격 정보 동시 복원 기술 개발 | |
| 동상 (200만원) |
전문가그룹 | 이정철*·김태영·고주희(KAIST) | 3차원 낸드 플래시 메모리 비파괴 검사를 위한 근적외선 간섭 나노스캐너 |
| 소홍윤*·김종원·김수헌(한양대) | 공정 중 웨이퍼의 열균일성 확보를 위한 DNN 기반 실시간 열결함 추적 시스템 | ||
| 이정철*·고주희(KAIST) | 가열 유동채널 공진기 기반 저유량 고점도 유체 유량 비접촉 측정 | ||
| 젊은공학자그룹 | 김준형*·윤정환(POSTECH) | 형상기억고분자 기반 Dry Adhesive Control을 이용한 HBM 향 다이 피커의 개발 | |
| 김철민*·남한구(KAIST) | 목재 상 레이저-유도 그래핀 가스 센서 제작 기술 개발 | ||
| 손창우*·강민구·권용준(성균관대) | 화학종 첨가를 통한 고감도 진공 누설 감지 Self Plasma Optical Emission Spectroscopy 기술 | ||
| 장려상 (각 50만 원) |
전문가 | 김영진*∙강구선∙김재윤(KAIST) | 반도체 패키징 공정에서의 반도체 웨이퍼 두께 및 내부구조/결함 측정을 위한 초정밀 테라헤르츠 계측 기술 |
| 박유진*∙박진성∙박주형∙김우창∙김민우∙박현준∙ 채경환∙김가영(성균관대) | 탐침 증강 라만 분광과 머신 비전을 이용한 wafer 상태 분석 | ||
| 김봉중*∙이민석∙정승진(홍익대) | 메타물질 기반 반도체 공정 가스 실시간 연속 모니터링 기술 | ||
| 박대일*∙박진성∙박주형∙김우창∙김민우∙김치현∙ 조원준(성균관대) | 암모니아 초고민감 조기 진단을 위한 MIP 전기화학 센서 | ||
| 유성근(계명대)*, 김태균(영남대) | 반도체 공정 설비 PM 작업이 가능한 고강성 원거리 작업 그리퍼 개발 | ||
| 조영태*∙김석∙이제민∙김창종∙손휘준∙김범진∙조인수∙정우진∙한건후∙김명서∙윤성민∙송준호∙고관우∙한유주∙배상현(창원대) | 터빈 블레이드의 Plasma 용사코팅 공정에서의 코칭층 손상 부위 예측 시뮬레이션 | ||
| 젊은공학자 | 박경원*∙김견호(성균관대) | 비균일 온도장 하에서 단일경로 Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy를 통한 저농도 화학종 농도 계측 기술 | |
| 박상욱*∙정현준∙김문정∙이세범(국립부경대) | 제로 굴절률 메타구조 기반 효율적인 대면적 초음파 세정 기술 | ||
| 김용태*∙박현빈∙이준석(서울과기대) | 올인원 스마트 돌돌이 | ||
| 고대연*∙정요한∙박원근(연세대) | 모든 구성 요소가 잉크젯 프린팅된 파장선택적 광센서 어레이 개발 | ||
| 박원근*∙정요한∙고대연(연세대) | 하이브리드 전도성 네트워크가 표면에 삽입된 넓은 감지 범위의 다공성 폴리머 촉각 센서 | ||
| 조용현*∙송민석∙민성현∙이종찬∙김지현∙최승범 (성균관대) | 휘어진 웨이퍼의 고자유도 무손상 조작을 위한 생체모사 유체동력 흡착 시스템 기술 개발 | ||
| 문준혁*∙김민지∙이태웅(경희대) | 구동 부품 노후 모델을 고려하는 산업용 로봇 디지털 트윈을 이용한 적응형 제어 강화학습 인공지능 개발 |